KURABO仓纺 药业浓度计 ChemicAlyzer Pro-2（KIS 系列）是一体型在线近红外药液浓度计，型号 KIS-2□-R（□对应药液种类），采用近红外透射分光原理，针对每种药液优化专属测量波长，结合独立校准曲线实时计算浓度。关键药液测量精度 ±0.1%，响应时间≤20 秒，接液部提供石英或蓝宝石材质，适配半导体湿法常用药液。

KURABO仓纺 药业浓度计 ChemicAlyzer Pro-2（KIS 系列）

KURABO仓纺 药业浓度计 ChemicAlyzer Pro-2（KIS 系列）

KURABO 仓纺创立于 1888 年，总部位于日本大阪，自 1990 年进军红外液体浓度检测领域以来，依托 30 余年光学技术积淀，在半导体制程药液浓度管理领域积累了丰富经验，*累计销量超过 3000 台。ChemicAlyzer Pro-2（KIS 系列）是该品牌的标准型在线近红外液体浓度计，型号为 KIS-2□-R，其中□对应不同检测药液种类，面向半导体及精密制造行业量产线的药液浓度连续监测需求。

设备采用近红外透射光谱法进行测量。其核心原理在于不同化学药液对特定波长近红外光的吸收特性存在对应关系，设备内置高精度光学模块，针对每种被测药液选择专属波长，发射近红外光穿透待测药液，通过光学传感器捕捉透射光强度变化，结合内置独立校准曲线，实时计算液体浓度值。相比电极法易受温度和离子干扰、滴定法离线滞后耗时，近红外光学测量无需试剂、无接触测量、无易损电极，从根源上避免腐蚀和漂移问题，适配强腐蚀、高纯度药液检测场景。

核心性能方面，Pro-2 为每种药液优化专属测量波长，单机独立校准，机间误差小。关键药液如 TMAH 测量精度达 ±0.1%，可捕捉微量浓度波动，适合量产工艺的精密控制。响应时间≤20 秒，可实时反馈浓度数据，支持在线连续测量，数据可对接产线 PLC 系统，实现浓度实时传输、上下限报警与远程监控。

结构上采用一体化紧凑设计，测量单元与数据处理单元高度集成，尺寸为 W201×D340×H198mm，重量约 11kg，节省安装空间，支持壁挂式或机架式安装，适配洁净车间环境。操作简便，接口集中于前面板，日常维护方便。设备体积小巧、安装便捷，适合量产标准化产线部署，也适合既有设备的后付改造。

接液部材质方面，提供石英流通池和蓝宝石流通池两种配置。石英规格适用于常规药液，蓝宝石规格适用于 HF 等强腐蚀药液，接液材质含 PFA、PTFE 及对应耐蚀 O 型圈。使用最高压力 0.2MPa，配管入口 Φ3×Φ2mm、出口 Φ4×Φ3mm，标配专用管路。可兼容的药液种类包括双氧水、盐酸、硫酸、TMAH 显影液、BOE、氨水、磷酸等半导体湿法工序常用药液，需注意设备采用光学检测原理，不适用于不透光的浑浊药液。

信号接口方面，测量值输出为 DC4-20mA 模拟信号，可无缝对接 PLC 与 MES 系统，实现数据实时传输与远程监控。电源要求为 AC 220V±10%、50/60Hz，功率≤30W，能耗较低。适用环境温度 10 至 30℃，湿度≤80% RH，无冷凝，适配半导体制造工厂洁净室或相当场所。

维护与寿命方面，光学测量核心部件无接触磨损，无电极、膜片等易损件，无需试剂耗材，日常仅需定期清洁光学窗口，大幅减少日常维护与耗材支出，生命周期使用成本较低。核心光学器件采用工业级耐高温、抗老化材质，设计寿命长，长期运行可靠性经过市场验证。

应用领域方面，Pro-2 浓度计核心应用于半导体湿法工业生产，覆盖晶圆清洗制程（RCA 清洗，含 SPM、SC-1、SC-2 等步骤）、光刻胶剥离制程、湿法蚀刻制程（BOE 缓冲氧化物刻蚀、金属蚀刻等）、TMAH 显影制程等关键工序，实时监测各槽药液浓度，保障工艺稳定性，减少晶圆表面污染与刻蚀缺陷，提升产品良率。同时拓展至精密电子行业的元件清洗液与电镀液浓度管控、光伏行业硅片清洗与制绒工序药液监测，以及化工、光电等对药液浓度要求严苛的领域。