KURABO仓纺 药业浓度计ChemicAlyzer Ace-3（KIS-A 系列）是高性能一体型在线近红外药液浓度计，型号 KIS-2□-A（□对应药液种类），为 Ace II 升级机型。采用近红外透射分光原理，光学单元恒温控制搭配内置药液温度控制器，消除环境温度波动影响，测量精度 ±0.1%，最短测量时间 2 秒。

KURABO仓纺 药业浓度计 ChemicAlyzer Ace-3（KIS-A 系列）

KURABO仓纺 药业浓度计 ChemicAlyzer Ace-3（KIS-A 系列）

KURABO 仓纺 ChemicAlyzer Ace-3（KIS-A 系列）是该品牌浓度计产品线中的高性能旗舰机型，为上一代 Ace II 的升级型号，型号规格为 KIS-2□-A，其中□对应不同检测药液种类。设备专为半导体晶圆清洗、蚀刻、CMP 制程及精密电子制造等对洁净度和浓度精度要求严苛的场景设计，采用一体化集成结构，兼顾多任务处理能力与操作便捷性，适配高阶制程的复杂监测需求。

设备采用近红外透射光谱测量原理，通过专用光学滤镜实现多波长同步检测。其核心技术优势在于光学单元采用恒温控制设计，搭配内置药液温度控制器，可消除环境温度波动对测量结果的影响，大幅提升长期测量稳定性。为每种药液优化专属测量波长，单机独立校准曲线，机间误差小，测量精度达 ±0.1%，可精准捕捉微量浓度波动，满足严苛工艺的精密控制需求。

多通道同步监测是 Ace-3 区别于标准版的核心能力。单机支持最多 8 种药液的浓度测定（可选配置），搭载多检测通道系统，可同时对多种工艺药液进行在线监测；支持 4 种混合成分同步浓度计算，精准分析复杂混合药液中的多组分含量，适配 SC-1、SC-2、SPM、HF、H₃PO₄等半导体常用清洗液、蚀刻液及 CMP 药液的多组分同时监测需求。

响应速度方面，最短测量时间仅 2 秒，可快速反馈浓度变化，适配药液浓度动态波动的制程场景。支持 DC4-20mA 标准信号输出，搭配多路集电极开路输出（READY、BUSY、装置异常、测量中、成功、上下限警报等），以及晶体管电流驱动输入（测量、校正、暖机结束等），可无缝对接 PLC 与 MES 系统，实现数据实时传输、远程监控与异常报警，助力工艺自动化管控。

结构设计上，测量单元与数据处理单元集成一体，装置尺寸为 W250×D330×H282mm，重量约 15kg，结构紧凑，节省洁净车间空间。接口集中于前面板，操作简便，维护便捷，支持机架式或壁挂式安装，适配半导体制造工厂洁净室及同等高标准环境。电源规格为 DC24V、100W，适用周围温度 20 至 30℃，无冷凝。

接液部材质方面，提供石英流通池和蓝宝石流通池两种配置。石英规格接液材质含 PFA、PTFE、石英及全氟 O 型圈，适用于常规药液；蓝宝石规格含 PFA、PTFE、蓝宝石及 Kalrez O 型圈，适用于强腐蚀药液。使用最高压力 0.2MPa，配管入口 Φ3×Φ2mm、出口 Φ4×Φ3mm，标配各 1m 专用管路。需注意设备采用光学检测原理，不适用于不透光的浑浊药液。

维护与寿命方面，采用非接触式光学测量，无需试剂、无电极膜片等易损件，日常仅需定期清洁光学窗口，大幅减少日常维护与耗材支出。核心光学部件经过严苛测试，设计寿命长，支持长期稳定运行，助力企业降低生命周期使用成本。