KURABO 仓纺 药业浓度计 ChemicAlyzer Pro-2+（KIS-P 系列）是一体型在线近红外液体成分浓度计，采用近红外透射分光原理，8 波长光学滤镜分光，可同时测量 1 至 2 种药液成分。关键药液测量精度达 ±0.01%，最小测量时间 2 秒，接液部采用石英或蓝宝石材质，适配半导体湿法工序常用药液。一体化紧凑设计，支持 4-20mA 及 RS-485 信号输出。

KURABO仓纺 药业浓度计 ChemicAlyzer Pro-2+（KIS-P 系列）

KURABO仓纺 药业浓度计 ChemicAlyzer Pro-2+（KIS-P 系列）

是标准版 Pro-2 的升级机型，型号为 KIS-2□-RP（□对应不同检测药液种类），面向半导体及精密制造行业的在线药液浓度连续监测需求。仓纺自 1990 年推出红外线液体浓度计以来，在半导体制程药液浓度管理领域积累了丰富的技术经验。

设备采用近红外透射分光原理，通过 8 波长光学滤镜分光，利用不同化学药液对特定波长近红外光的吸收特性，结合内置专属校准曲线实时计算浓度值。相比电极法易受温度和离子干扰、滴定法离线滞后耗时，光学测量无需试剂、无接触测量、无易损电极，从根源上避免腐蚀和漂移问题，可同时精准测量 1 至 2 种药液成分。

核心性能方面，关键药液如 TMAH 测量精度达 ±0.01%，常规药液约 ±0.5%，可捕捉微量浓度波动；最小测量时间 2 秒，系统响应不超过 15 秒，支持在线连续测量，数据可无缝对接产线 PLC 和 MES 系统，实现浓度实时传输、超限报警与闭环控制。

结构上采用一体化集成设计，测量单元与数据处理单元高度整合，尺寸 W270×D340×H257mm，重约 16kg，支持壁挂式或机架式安装，适配 20 至 30℃无冷凝洁净室环境。设备自带升级版纯水校正自动管路切换阀，支持一键 DIW 自动零点校正，按键操作简化，可快速替换标准版 Pro-2 及其他品牌设备，改造成本低。

接液部提供石英和蓝宝石两种流通池配置，材质含 PFA、PTFE 及对应耐蚀 O 型圈，使用最高压力 0.2MPa，配管入口 Φ3×Φ2mm、出口 Φ4×Φ3mm，标配各 1m 专用管路。兼容氨水、双氧水、硫酸、磷酸、盐酸、TMAH、BOE、IPA、乙醇、醋酸等常见药液，需注意不适用于不透光浑浊药液。

信号接口含 DC4-20mA 模拟输出和 RS-485 数字通信，配多路开路集电极状态输出（READY、BUSY、装置异常、上下限警报等）和晶体管控制输入（测量、校正、暖机结束等），方便与上位控制系统联动。电源 AC100-220V、50/60Hz，功率 100W。

维护方面，光学核心部件无接触磨损，无电极、膜片等易损件，日常仅需定期清洁光学窗口，维护周期可延长至 6 个月以上，核心光学器件设计寿命 10 年以上，长期运行可靠性经过市场验证。应用覆盖半导体晶圆清洗、蚀刻、光刻胶去除等湿法工序，精密电子元件清洗液与电镀液管控，光伏硅片清洗与制绒工序，以及化工、光电等对药液浓度要求严苛的领域。