COPAL 科宝微型压力传感元器件 PG-30-101R-N 。CANON 佳能 ANELVA A-NET 晶体真空规，真空压力传感器，包含 M-320XG、XG-1 两大产品系列，搭配 NW16/NW25/ICF/VG 多种法兰接口，采用晶体感应检测原理，测量精度高、响应迅速，适配半导体、真空镀膜各类工业真空腔体压力监测，运行稳定耐用。