日本TOKICO 超声波涡街流量计PFA系列，接液部件采用耐腐蚀性优异的PFA树脂一体成型，因此除管道连接部件外，没有密封件或凹陷，适合测量化学液体、腐蚀性流体和超纯水。广泛应用在半导体槽式清洗机上。